Модуль «Молекулярные течения» для программы COMSOL Multiphysics®

Модуль «Молекулярные течения» дополняет функционал базовой платформы COMSOL Multiphysics^® и позволяет моделировать низкоскоростные потоки газа при низком давлении в геометрически сложных системах. Инструменты модуля предназначены для анализа вакуумных систем, например, используемых при производстве полупроводников, в ускорителях частиц и масс-спектрометрах. Кроме того, можно моделировать каналы малых размеров, например при исследовании течения в нанопористых материалах. Для моделирования стационарных изотермических и неизотермических свободномолекулярных течений в модуле реализован метод угловых коэффициентов, с помощью которого можно рассчитать плотность потока массы, давление, плотность частиц и плотность теплового потока на стенках моделируемой системы. Плотность частиц газа в объеме системы можно рассчитать на основе данных о плотности частиц на ограничивающих объем поверхностях.

Области применения модуля «Молекулярные течения»:

• Вакуумные системы и аппараты низкого давления.
• Производство полупроводников.
• Металлообработка.
• Химическое осаждение из газовой фазы в сверхвысоком вакууме.
• Ионная имплантация.
• Испарение.